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一、核心參數(shù)與性能指標(biāo)
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頻率范圍:
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1 MHz 至 3 GHz,分辨率達(dá) 1 mHz,支持寬頻段掃描。
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測量精度:
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基本阻抗精度 ±0.8%(部分資料提及升ji版E4991B可達(dá)±0.65%)。
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高Q值精度,適用于低損耗元件分析。
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掃描參數(shù):
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振蕩器電平:高達(dá) 1 dBm/0.5 Vrms/10 mArms。
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DC偏置(選件001):±40V 或 ±50 mA,支持元器件在真實工作條件下的評估。
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阻抗范圍:
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典型測量范圍 120 mΩ 至 52 kΩ(10%精度內(nèi))。
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二、功能特性
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核心技術(shù):
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采用 射頻電流-電壓(RF-IV)技術(shù),非反射測量,確保寬阻抗范圍內(nèi)的準(zhǔn)確性。
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測量模式:
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支持 |Z|、|Y|、θ、R、X、L、C、D、Q 等20+參數(shù),覆蓋阻抗、導(dǎo)納、相位角等。
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選件擴(kuò)展:
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介電/磁性材料測量(選件002):1 MHz–1 GHz頻率范圍。
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晶圓測量(選件010):通過探針臺連接套件支持晶圓ji測試。
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溫度特性分析(選件007):-55°C 至 +150°C 寬溫漂移補(bǔ)償。
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顯示與分析:
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10.4英寸彩色觸摸屏,支持4通道/4跡線同步顯示。
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內(nèi)置 等效電路分析(7種多參數(shù)模型)、極限測試功能。
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自動化與接口:
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支持 VBA編程,通過LAN傳輸數(shù)據(jù),適配自動化測試系統(tǒng)。
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三、操作流程與校準(zhǔn)步驟
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初始化與設(shè)置:
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開機(jī)后按 [Preset] 初始化儀器。
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設(shè)置掃描范圍(如100 MHz–1 GHz)及激勵信號功率(典型值300 mW)。
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校準(zhǔn)流程:
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校準(zhǔn)件選擇:7mm校準(zhǔn)件(或其他適配類型)。
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順序操作:連接開路件→按 [meas open]→短路件→[meas short]→負(fù)載件→[meas load],完成后按 [Done]。
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夾具補(bǔ)償:
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使用 16192A測試夾具,執(zhí)行 開路/短路補(bǔ)償,確保接觸穩(wěn)定。
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數(shù)據(jù)獲取:
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按 [trace] 選擇參數(shù)(如Ls電感),通過 [marker] 讀取特定頻率點數(shù)據(jù),結(jié)果可保存為.dat格式。
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si、應(yīng)用場景
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元器件測試:
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高頻電感、電容、電阻的阻抗特性分析,適用于射頻電路設(shè)計。
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材料科學(xué):
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固體材料的介電常數(shù)、磁導(dǎo)率及損耗角測量(如陶瓷、聚合物)。
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半導(dǎo)體與晶圓:
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結(jié)合探針臺選件,支持芯片ji器件的高頻阻抗表征。
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溫度依賴研究:
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評估元器件或材料在極端溫度下的性能變化(如車載電子組件)。
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五、選件與配件
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常用夾具:
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16192A(平行電極SMD夾具)、16453A(介電材料夾具)、16454A(磁性材料夾具)。
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擴(kuò)展選件:
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E4991A-001(DC偏置)、E4991A-007(溫度套件)、E4991A-010(晶圓連接套件)。
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